러시아 130나노 노광장비 시제품 시험 돌입
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ZNTC가 벨라루스 업체와 개발한 130나노 노광장비 시제품의 내부 시험을 시작했지만 양산 투입에는 수년이 걸릴 전망이다.
러시아 젤레노그라드 나노기술센터(ZNTC)가 200㎜ 웨이퍼에서 130나노미터 공정을 구현하는 노광장비의 3단계 연구개발을 마치고 내부 엔지니어링·인수 시험에 들어갔다. 다만 현재 장비는 양산용이 아닌 시제품이며, 실제 반도체 공장에 투입되기까지 수년이 걸릴 것으로 예상된다.1
개발비는 러시아 산업통상부가 지원한 약 7,000만달러다. 장비 한 대의 추산 가격은 스테퍼 670만달러와 레이저 광원 60만달러를 합친 730만달러다. 톰스하드웨어는 ASML이 2001년 출시한 PAS 5500/150의 당시 정가가 310만달러였으며, 물가 상승분을 반영한 2026년 가치로는 약 580만달러라고 비교했다. 130나노 공정은 인텔과 AMD가 각각 2001년과 2002년에 도입한 기술 세대다.1
개발 주체를 둘러싼 설명에는 단서가 붙는다. ZNTC가 전체 시스템과 시험·공정 장비 설계, 투영 렌즈 계산, 공정 모델링을 맡았지만, CNews가 확인한 문서에 따르면 실제 노광 시스템과 기계 부품 개발·제작, 시제품 시운전은 벨라루스의 플라나르(Planar)가 담당했다. 레이저는 라사드(Lassard)가 개발했다. 따라서 러시아산 부품으로 구성된 ‘러시아 최초의 130나노 노광장비’라는 일각의 표현은 확인되지 않았다.1
시제품 납품도 예정보다 5개월 늦었다. 내부 시험 뒤에는 이미징과 오버레이 정밀도, 신뢰성, 처리량을 검증하고 설계를 보완해야 하며, 이 과정만 1년 이상 걸릴 수 있다. 기존 러시아 130나노 공정은 ASML 장비에 의존해 왔고, ZNTC 장비를 해당 공정에 통합할 수 있는지도 아직 불확실하다.1
Footnotes
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출처
- Russian firm completes country's first 130nm-capable chipmaking tool, trails modern equipment by 25 years — Tom's Hardware · 자료: 2026. 10. 5.
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